净化车间工程及洁净室如何防静电

在净化车间中，静电的产生大多都是有危害的，例如会引起电子设备的故障、对电子设备造成电磁干扰等。所以，在对净化车间进行装修的时候，要将防静电一并纳入净化的范围之内，将静电对生产的影响降到可以接受的地步。
净化车间压差整定不合格如何解决？

在净化车间的装修中，防静电的方法一般会先考虑在装修材料上入手，这方面较为容易解决的是地板和墙面的材料。防静电地板和防静电钢板是净化车间中防止环境产生静电非常好的材料。防静电地板时候用于医药、生物技术等行业的净化车间，能有效保护电子设备。

净化车间

另外可以在净化车间内安装或摆放防静电的设备，例如防静电盛放器。
对于净化车间的本身，控制湿度也防静电非常有效的方式。

保养内容

净化室顶棚的清洁卫生工作；如果发现顶棚和壁面有裂缝或腐蚀、涂敷状况，须进行加注密封胶及去污处理；
回风夹道内的清洁卫生工作包括玻璃面、彩钢板面、地面的清洗；
净化空调机每关年清洗、擦洗一次；
检查风机、风阀等转动、转动部位、轴承及轴承座润滑情况，定期加注油脂确保转动灵活。



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光伏新能源洁净室无尘车间净化工程

1、光伏新能源硅晶片简介
光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一片片像镜子一样光亮的圆片，是生产半导体集成电路芯片的原材料。目前微电子产业飞速发展，集成电路技术已迈入0.18微米以下的时代，极大地刺激了光伏新能源硅晶片的发展，同时对光伏新能源硅晶片的性能参数的要求也有较大的提高，因此光伏新能源硅晶片的发展前景十分乐观。
2、 光伏新能源硅晶片的生产工艺流程
从大的方面来讲，光伏新能源硅晶片生产包括硅单晶棒生产和光伏新能源硅晶片生产两大部分，细分为以下几道主要工序：
单晶棒生长-单晶棒裁切和检测-外径磨削-切片-倒角（圆边）-研磨/研磨片检查-蚀刻（化学蚀刻、LP-CVD+AP-CVD 等工艺）-PTA热处理-背面损伤处理-抛光（ML粗抛、ML精抛）-洗净-品质检查-洁净包装
从单晶棒生长到外径磨削为硅单晶棒生产工序，切片以后的流程为光伏新能源硅晶片生产工序。下面以某日资硅片厂为例，介绍光伏新能源硅晶片生产工序的空调净化系统和自控系统的设计方案。
3、 各生产工序环境控制要求
某硅片厂生产4~6英寸光伏新能源硅晶片，产量为480万片/年。此公司光伏新能源硅晶片应用于分立器件、功率元件和特种集成电路的制作。
4、空调净化系统
空调净化的设计是与工艺的布局、生产的流程密切结合的。不同类型、不同用途的厂房空调净化系统都各有特点，下面来介绍光伏新能源硅晶片生产工序的空调净化系统方案。




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洁净室无尘电子车间净化工程

空调系统
1、 切片室、倒角室、研磨片室仅有温度控制要求，设风冷热泵分体柜式空调机（PAC）来保证房间温度要求，室内机就近放置在车间内，接风管，采用双层百叶风口侧送风方式；室外机放置在屋面上。切片室的排风量较大，新风采用直接蒸发式热泵型屋顶空调机S1-1和S1-2来补充。车间有防尘要求，风冷热泵分体柜式空调机回风口处设中效过滤器（大气尘计数效率：≥60%，对于≥1μm 粒子），同样屋顶式空调机需设两级过滤器。
其原理图见图:

2、 炉室、BSD室仅有温度控制要求，设风冷电热分体柜式空调机（PAL）来保证房间温度要求，室内机就近放置在车间内，接风管，采用方形散流器顶送风方式；室外机放置在屋面上。新风由相邻洁净室正压过来。车间有防尘要求，风冷电热分体柜式空调机回风口处设中效过滤器（大气尘计数效率：≥60%，对于≥1μm粒子）。
3 、磨片检查室有温度和湿度控制要求，设风冷电热分体柜式空调机（PAL）来保证房间温度要求，室内机就近放置在车间内，接风管，采用方形散流器顶送风方式；室外机放置在屋面上。新风经新风机组（MAU-1、2）处理后，接至送风管上送到室内，相对湿度由新风机组来保证。新风机组是与净化系统共用的。车间有防尘要求，风冷电热分体柜式空调机回风口处设中效过滤器（大气尘计数效率：≥60%，对于≥1μm粒子），新风机组内设粗、中效过滤器。
净化系统
光伏新能源净化工程系统用的新风空调机组（MAU）和循环空调机组（AHU）的冷媒采用6-11℃的冷冻水，加热采用0.2MPa蒸汽，加湿采用0.1MPa的洁净蒸汽加湿，洁净蒸汽由纯水经洁净蒸汽发生器产生。
4、 CP室净化级别为7级，换气次数取为30次/小时，CP室工艺设备用酸量较多，采用全新风空调机组（MAU-3）+高效过滤器送风口（HEP-ABOX）的空调方式。其气流流程为：新风入口-粗效过滤器-中效过滤器-预加热器-表冷器-加热器-洁净蒸汽加湿-送风机-送风管-高效过滤器送风-洁净区。
5、 ML室净化级别为7级，换气次数取为30次/小时，采用新风机组（MAU）+循环机组（AHU）+高效过滤器送风口（HEP-ABOX）的空调方式。新风接自其它系统共用MAU-1、2新风组。
6、 CP/CVD室、LP/CVD室、洁净包装间净化级别为6 级，换气次数取为50次/小时，采用新风机组（MAU）+循环机组（AHU）+高效过滤器送风口（HEP-ABOX）的空调方式。新风接自其它系统共用的MAU-1、2新风组。
4 7级、6 级的洁净室采用的气流形式为顶部高效过滤器送风口送风，房间侧下百叶风口回风。其气流流程为：新回风混合!中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-高效过滤器送风口-洁净区-房间侧下百叶回风口-回风管-新回风混合。



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